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本技术公开了一种抽测设备,涉及半导体芯片测试技术领域,其中,抽测设备包括基座、多个载片台、上料机构、测试机构和回收机构,基座上设置有转台,转台绕其周向设置有上料工位、测试工位和下料工位,各载片台一一对应设置于上料工位、测试工位和下料工位,且...该专利属于矽电半导体设备(深圳)股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过矽电半导体设备(深圳)股份有限公司授权不得商用。
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本技术公开了一种抽测设备,涉及半导体芯片测试技术领域,其中,抽测设备包括基座、多个载片台、上料机构、测试机构和回收机构,基座上设置有转台,转台绕其周向设置有上料工位、测试工位和下料工位,各载片台一一对应设置于上料工位、测试工位和下料工位,且...