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本技术公开了一种用于磁控溅射真空镀膜装置的阴极磁棒，涉及真空磁控溅射镀膜技术领域，其中，所述阴极磁棒包括芯管、固定板和活动板，固定板固定安装于芯管的端部，固定板设有开口，以与芯管相连通，活动板可拆卸地安装于固定板，且活动板封堵开口。本技术的...
该专利属于广东旗滨节能玻璃有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东旗滨节能玻璃有限公司授权不得商用。

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