【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空磁控溅射镀膜，特别涉及一种用于磁控溅射真空镀膜装置的阴极磁棒。
技术介绍
1、目前，在磁控溅射真空镀膜装置内，阴极溅射靶是非常重要的部件之一。阴极溅射靶内的磁棒的磁场强度分布和稳定性会直接影响膜层质量、膜层厚度、颜色均匀性等。
2、但由于现有的阴极溅射靶内的磁棒的端部采用的是与芯管为一体式的密封盖结构。一旦磁棒发生各类问题需要维修时，如磁场分布发生突变、磁性变差、进水泄漏等问题，往往只能选择将密封盖切开，然后再将磁棒从阴极溅射靶内抽出；待解决完各类问题后，还需要将磁棒装回并重新焊接密封。这就导致维修成本高、且多次切开的焊接处容易缩短磁棒使用周期。
技术实现思路
1、本技术的主要目的是提出一种用于磁控溅射真空镀膜装置的阴极磁棒，旨在解决现有的阴极溅射靶内的磁棒的端部采用的是与芯管为一体式的密封盖结构，维修时只能选择将密封盖切开，维修成本高的问题。
2、为实现上述目的，本技术提出的用于磁控溅射真空镀膜装置的阴极磁棒，包括：
3、芯管；
<...【技术保护点】
1.一种用于磁控溅射真空镀膜装置的阴极磁棒，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的阴极磁棒，其特征在于，所述固定板包括连接部和安装部，所述连接部设于所述安装部的外周边缘，所述连接部用以与所述芯管焊接，所述安装部设有所述开口，所述阴极磁棒还包括锁固件，所述锁固件连接所述活动板和所述安装部。
3.如权利要求2所述的阴极磁棒，其特征在于，所述安装部还设有第一安装孔，所述活动板对应所述第一安装孔设置有第二安装孔，所述锁固件依次贯穿所述第二安装孔和所述第一安装孔，以连接所述活动板和所述固定板。
4.如权利要求3所述的阴极磁棒，其特征在于，...
【技术特征摘要】
1.一种用于磁控溅射真空镀膜装置的阴极磁棒，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的阴极磁棒，其特征在于，所述固定板包括连接部和安装部，所述连接部设于所述安装部的外周边缘，所述连接部用以与所述芯管焊接，所述安装部设有所述开口，所述阴极磁棒还包括锁固件，所述锁固件连接所述活动板和所述安装部。
3.如权利要求2所述的阴极磁棒，其特征在于，所述安装部还设有第一安装孔，所述活动板对应所述第一安装孔设置有第二安装孔，所述锁固件依次贯穿所述第二安装孔和所述第一安装孔，以连接所述活动板和所述固定板。
4.如权利要求3所述的阴极磁棒，其特征在于，所述活动板朝向所述固定板的一面凸出设置有凸出部，所述固定板对应所述凸出部设置有凹槽，所述凸出部插接于所述凹槽，以使所述活动板限位安装于所述固定板。
5.如权利要求4所述的阴极磁棒，其特征在于，所述凸出部的数量为多个，多个所述凸出部靠近...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘石泉，温斌，蓝佩，
申请(专利权)人：广东旗滨节能玻璃有限公司，
类型：新型
国别省市：
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