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光源性能的测量制造技术
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文档序号:45918175
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一种用于测量发射电磁辐射的照射源的性能的方法,该方法包括:‑接收示出电磁辐射到对象上的投影的图像,该图像与指示与该图像的至少一部分相对应的强度的量相关联,‑通过使用指示强度的量与该照射源的与该图像的一部分相对应的性能指标的关系,从指示该强度...
该专利属于特里纳米克斯股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过特里纳米克斯股份有限公司授权不得商用。
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