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本发明的目的在于研发用于等离子体辅助合成卤化的聚硅烷和聚锗烷的装置和方法，其中至少一种反应组分以气态形式存在并且通过来自等离子体区的反应性粒子激发，并且随后与在反应室内以蒸汽或气态形式存在的至少一种其它反应组分进行反应。可能的是选自ＳｉＣｌ...
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