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本发明公开了一种用于真空腔室的对位机构及晶圆对位系统，真空腔室内设有晶圆，对位机构包括定位件、动力组件、动力传递部件以及密封单元；定位件设于真空腔室内部；动力组件设于真空腔室外部；动力传递部件用于将动力组件的动力传递至定位件，以使定位件做靠...
该专利属于环诚智能装备（成都）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过环诚智能装备（成都）有限公司授权不得商用。

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