下载一种半导体加工用翻转装置的技术资料

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本技术公开一种半导体加工用翻转装置,包括加工台、两个承载板、夹持机构和限位机构,所述加工台上开设有滑槽,且位于所述滑槽的外周开设有多个定位孔;所述承载板滑动连接于所述滑槽内;夹持机构包括水平推动端和夹持端;任意一个所述承载板上均设置有所述水...
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