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本技术公开了大幅面探针卡研磨台组件，属于探针卡研磨台技术领域，研磨台组件包括底座；第一定位机构可移动地设置于底座，第一定位机构适于驱动探针卡在长度方向上移动，第二定位机构可转动地设置于底座，第二定位机构转动以可选择地与探针卡的顶部止抵；研磨...
该专利属于盛华微纳科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛华微纳科技（苏州）有限公司授权不得商用。

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