【技术实现步骤摘要】
本技术属于探针卡研磨台，具体涉及大幅面探针卡研磨台组件。
技术介绍
1、相关技术中，因探针卡水平度缘由，导致市面上均使用小尺寸幅面探针卡对晶圆进行检测，现有技术中，本公司专利技术了一种大尺寸幅面探针卡以适于对晶圆进行一次性检测，从而实现提高晶圆的检测效率，但是现有的研磨台组件对大尺寸幅面探针卡的定位以及固定效果差，从而导致大尺寸幅面探针卡的研磨效果差，无法保证大尺寸幅面探针卡的平整度和精度。
技术实现思路
1、本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术的一个目的在于提出了一种大幅面探针卡研磨台组件。根据本技术设计的大幅面探针卡研磨台组件，实现了探针卡在研磨过程中稳定固定，避免探针卡在研磨过程中因外力作用而产生偏移，提高了对探针卡的研磨质量，确保了探针卡的平整度和精度。
2、为达到上述目的，本技术提供如下技术方案：
3、本技术提供大幅面探针卡研磨台组件，包括：底座；第一定位机构，所述第一定位机构可移动地设置于所述底座的顶部，所述第一定位机构适于驱动探...
【技术保护点】
1.一种大幅面探针卡研磨台组件，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的大幅面探针卡研磨台组件，其特征在于，所述第一定位机构包括：
3.根据权利要求2所述的大幅面探针卡研磨台组件，其特征在于，所述第一定位机构还包括：
4.根据权利要求2所述的大幅面探针卡研磨台组件，其特征在于，所述底座(10)的顶部设置有在长度方向上延伸的滑轨(11)，所述限位杆(21)的底部设置有滑块，所述滑块可移动地收容于所述滑轨(11)内。
5.根据权利要求1所述的大幅面探针卡研磨台组件，其特征在于，所述第二定位机构包括：
6.根据...
【技术特征摘要】
1.一种大幅面探针卡研磨台组件，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的大幅面探针卡研磨台组件，其特征在于，所述第一定位机构包括：
3.根据权利要求2所述的大幅面探针卡研磨台组件，其特征在于，所述第一定位机构还包括：
4.根据权利要求2所述的大幅面探针卡研磨台组件，其特征在于，所述底座(10)的顶部设置有在长度方向上延伸的滑轨(11)，所述限位杆(21)的底部设置有滑块，所述滑块可移动地收容于所述滑轨(11)内。
5.根据权利要求1所述的大幅面探针卡研磨台组件，其特征在于，所述第二定位机构包括：<...
【专利技术属性】
技术研发人员：张敏，周鸿锋，岳俊，
申请(专利权)人：盛华微纳科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。