温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术提供了一种尾气过滤装置及气相生长设备，应用于气相生长设备的尾气排放，尾气过滤装置包括壳体和设于冷凝段内的冷凝件，壳体包括入口段和冷凝段，入口段具有沿壳体径向相对设置的第一端部和第二端部，第一端部设有进气口，第二端部与冷凝段连接，入口段...
该专利属于申集半导体科技（徐州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过申集半导体科技（徐州）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。