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本技术涉及晶圆片表面处理加工设备技术领域，尤其涉及一种水清洗箱,包括容器、隔板、喷淋组件及阀门组件；隔板设于容器内，所述隔板将容器分成上腔和下腔，所述上腔和下腔连通，所述喷淋组件包括若干个喷头，所述喷头位于容器的上方；所述容器设有第一通孔，...
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