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本申请涉及单晶硅生产技术领域，具体涉及一种单晶炉系统的清灰方法和单晶炉系统，单晶炉系统的清灰方法包括除尘罐的清灰方法，除尘罐的清灰方法包括：控制真空泵处于停机状态，控制排气控制阀和除尘控制阀处于关闭状态，分别向单晶炉和除尘罐内部通入保护气体...
该专利属于双良硅材料（包头）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过双良硅材料（包头）有限公司授权不得商用。

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