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本申请提供一种量测装置，其包括：原子力显微镜，包括探针，所述探针用于探测倾斜光栅；以及倾斜平台，所述倾斜平台用于承载所述倾斜光栅；其中，所述倾斜平台的倾角基于所述倾斜光栅的倾斜角度和所述探针的针尖角度设置。本申请提供的量测装置，有利于提高检...
该专利属于业桓科技（成都）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过业桓科技（成都）有限公司授权不得商用。

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