【技术实现步骤摘要】
本申请涉及精密测量领域，尤其涉及一种量测装置。
技术介绍
1、倾斜光栅是一种光栅条纹与基底方向呈一定倾斜角度的特殊光栅，目前对倾斜光栅的量测通常是利用扫描电镜进行测量，然而，扫描电镜对倾斜光栅进行扫描需要的时间过长，通常需要六个小时以上，在应用于倾斜光栅生产流程中的质量检测时，时间成本过高。另一种方法是使用原子力显微镜对倾斜光栅进行测量，然而原子力显微镜是使用探针与样品表面进行接触来获取三维信息，在光栅条纹倾斜的情况下，常规的原子力显微镜无法探测到光栅倾斜部分的三维信息。
技术实现思路
1、基于此，本申请提供一种量测装置，可以更快更准的对倾斜光栅进行量测。
2、本申请一方面提供一种量测装置，其包括：
3、原子力显微镜，包括探针，所述探针用于探测所述倾斜光栅；以及
4、倾斜平台，所述倾斜平台用于承载所述倾斜光栅；
5、其中，所述倾斜平台的倾角基于所述倾斜光栅的倾斜角度和所述探针的针尖角度设置。
6、本申请实施例提供的量测装置，通过设...
【技术保护点】
1.一种量测装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的量测装置，其特征在于，所述倾斜平台包括基座和至少一个倾斜块，所述倾斜块用于固定在所述基座上，以用于承载所述倾斜光栅。
3.如权利要求2所述的量测装置，其特征在于，所述倾斜块包括相对设置的两个端面以及在两个端面之间依次连接的三个承载面，所述三个承载面围绕设置以形成闭合棱柱。
4.如权利要求3所述的量测装置，其特征在于，所述倾斜块的三个棱角的角度值互不相同。
5.如权利要求4所述的量测装置，其特征在于，所述倾斜块的棱角基于不同倾斜角度的所述倾斜光栅和不同针尖角度的所
...【技术特征摘要】
1.一种量测装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的量测装置，其特征在于，所述倾斜平台包括基座和至少一个倾斜块，所述倾斜块用于固定在所述基座上，以用于承载所述倾斜光栅。
3.如权利要求2所述的量测装置，其特征在于，所述倾斜块包括相对设置的两个端面以及在两个端面之间依次连接的三个承载面，所述三个承载面围绕设置以形成闭合棱柱。
4.如权利要求3所述的量测装置，其特征在于，所述倾斜块的三个棱角的角度值互不相同。
5.如权利要求4所述的量测装置，其特征在于，所述倾斜块的棱角基于不同倾斜角度的所述倾斜光栅和不同针尖角度的所述探针设置。
6.如权利要求2所述的量测装置，其特征在于，所述倾斜块的材料...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨佳桂，陈纪安，张志鹏，
申请(专利权)人：业桓科技成都有限公司，
类型：发明
国别省市：
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