下载气相沉积包覆设备的技术资料

文档序号:45866861

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本技术公开了一种气相沉积包覆设备,涉及二次电池技术领域,包括:熔融装置,所述熔融装置内设置有熔融加热器;CVD反应装置,所述CVD反应装置上设置有反应加热器;气流搅拌器,所述气流搅拌器上设置有进气阀与出气孔;收集罐,所述收集罐通过收集管与所...
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