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本申请公开了一种掩模图像生成方法、装置、电子设备和存储介质，属于光刻领域。用于光刻机的掩模图像生成方法，包括：获取多个目标工艺参数；将多个目标工艺参数输入至目标网络模型的多层感知层，获取多层感知层输出的目标重构图像；将目标重构图像、目标期望...
该专利属于深圳大学所有，仅供学习研究参考，未经过深圳大学授权不得商用。

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