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本文公开了一种用于样本的非破坏性表征的系统。所述系统包括：电子束(e束)源，所述e束源用于将e束以一个或多个e束着陆能量投射到样本上；X射线检测器，所述X射线检测器用于感测从样本发射的X射线，从而获得测量数据；以及处理电路系统。所述处理电路...
该专利属于应用材料以色列公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料以色列公司授权不得商用。

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