下载表面发射激光器及其制备方法的技术资料

文档序号:45848986

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本申请实施例涉及一种表面发射激光器及其制备方法。该表面发射激光器,包括衬底和设于衬底上的谐振腔结构;谐振腔结构包括依次位于衬底上的第一反射镜层、有源层、和第二反射镜层;第二反射镜层中形成有光电限制层,光电限制层为多边形环状结构,且光电限制层...
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