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该发明提供一种适用于半导体拉晶用的一体式多级水环真空泵组，包括驱动电机、水箱以及泵体，通过在泵体内设置相互独立的一级泵腔和二级泵腔，在一级泵腔和二级泵腔中分别偏心设置有与驱动电机的输出轴同轴连接的叶轮，泵体外侧分别设置有与一级泵腔连通的第一...
该专利属于宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司授权不得商用。

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