适用于半导体拉晶用的一体式多级水环真空泵组制造技术

该发明专利技术提供一种适用于半导体拉晶用的一体式多级水环真空泵组，包括驱动电机、水箱以及泵体，通过在泵体内设置相互独立的一级泵腔和二级泵腔，在一级泵腔和二级泵腔中分别偏心设置有与驱动电机的输出轴同轴连接的叶轮，泵体外侧分别设置有与一级泵腔连通的第一吸气口、补水口和第一排气口，以及与二级泵腔连通的第二吸气口和第二排气口，在补水口上设置有与水箱相连通的补水管，在第一排气口和第二吸气口上设置有相互连通的连接管，第二排气口与水箱内腔相互连通，并在水箱上端设置有排气管，驱动电机同时驱动一级泵腔和二级泵腔中的叶轮旋转，通过二级泵腔中的叶轮可对一级泵腔形成二次抽吸排气，辅助一级泵腔快速排气，可增加泵体的整体抽速。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及水环真空泵，具体涉及一种适用于半导体拉晶用的一体式多级水环真空泵组。

技术介绍

1、在单晶炉拉晶工艺中，建立负压环境对高质量晶体制备至关重要。该环境能有效控制单晶炉内的气体成分和压力，形成稳定的晶体生长条件；同时通过隔绝外界污染物，确保生长区域的洁净度，从而保障晶体的纯度和结构完整性。

2、目前，单晶炉的负压环境主要依赖水环真空泵提供。水环真空泵是一种常见的真空泵，其应用领域广泛，但为满足单晶炉对负压环境稳定性的高要求，现有技术中，普遍采用由多个抽真空单元串联组成的多级大功率泵组，以实现大抽速和稳定性，例如，授权公告号为cn221742845u，公开的一种多级气冷式罗茨水环真空机组，采用多组抽真空单元与水环泵串联连通组成，通过控制不同数量抽真空单元工作实现大抽速、多抽速的效果。然而，这种水环真空机组在实际使用过程中，存在明显缺点：设备体积庞大，占用空间多；需要依赖多台工频电机驱动，导致能耗高，运行成本居高不下。

技术实现思路

1、有鉴于此，有必要提供一种适用于半导体拉晶用的一体式多级本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种适用于半导体拉晶用的一体式多级水环真空泵组，其特征在于：包括驱动电机、水箱以及设置在驱动电机轴端的泵体，所述泵体内设置有相互独立的一级泵腔和二级泵腔，在一级泵腔和二级泵腔中分别偏心设置有与驱动电机的输出轴同轴连接的叶轮，所述泵体外侧分别设置有与一级泵腔连通的第一吸气口、补水口和第一排气口，以及与二级泵腔连通的第二吸气口和第二排气口，在补水口上设置有与水箱相连通的补水管，在第一排气口和第二吸气口上设置有相互连通的连接管，所述第二排气口与水箱内腔相互连通，并在水箱上端设置有与其内腔相互连通的排气管，所述驱动电机同时驱动一级泵腔和二级泵腔中的叶轮旋转，以使一级泵腔中所抽吸的气体和水从连...

【技术特征摘要】

1.一种适用于半导体拉晶用的一体式多级水环真空泵组，其特征在于：包括驱动电机、水箱以及设置在驱动电机轴端的泵体，所述泵体内设置有相互独立的一级泵腔和二级泵腔，在一级泵腔和二级泵腔中分别偏心设置有与驱动电机的输出轴同轴连接的叶轮，所述泵体外侧分别设置有与一级泵腔连通的第一吸气口、补水口和第一排气口，以及与二级泵腔连通的第二吸气口和第二排气口，在补水口上设置有与水箱相连通的补水管，在第一排气口和第二吸气口上设置有相互连通的连接管，所述第二排气口与水箱内腔相互连通，并在水箱上端设置有与其内腔相互连通的排气管，所述驱动电机同时驱动一级泵腔和二级泵腔中的叶轮旋转，以使一级泵腔中所抽吸的气体和水从连接管进入二级泵腔中，再由二级泵腔中的叶轮进行二次抽吸排气。

2.如权利要求1所述的适用于半导体拉晶用的一体式多级水环真空泵组，其特征在于：所述补水管上设置有补水泵，所述补水泵将水箱中的水输入一级泵腔中。

3.如权利要求2所述的适用于半导体拉晶用的一体式多级水环真空泵组，其特征在于：所述驱动电机和泵体固定架设在水箱的上端，所述第二排气口与水箱内腔的上端相连通，以将所抽吸的气体和水排入水箱中。

4.如权利要求3所述的适用于半导体拉晶用的一体式多级水环真空泵组，其特征在于：所述水箱上设置有注水口。

5.如权利要求1或4所述的适用于半导体拉晶用的一体式多级水环真空泵组，其特征在于：所述水箱上端设置有与其内腔连通的防溢水装置，所述排气管设置在防溢水装置上端，并相互连通，所述防溢水装置可将涌向排气管的气液进行分流，使气体穿过防溢水装置从排气管排出，使水液回流至水箱中。

6.如...

【专利技术属性】
技术研发人员：马旭武，马玉怀，杨凯，王黎光，曹启刚，
申请(专利权)人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：