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本发明提供了一种Z轴压电升降平台，压电纳米定位台，包括：载物台；底座，设置在载物台的下方，底座包括隔板和设置在隔板下方的底板，隔板与底板之间还具有容置腔；预紧机构，设置在容置腔内，预紧机构两端与底板、载物台连接，预紧机构对载物台施加沿z轴方...
该专利属于广东工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过广东工业大学授权不得商用。

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