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本技术公开了一种靶材扩散焊接结构，属于靶材焊接技术领域；本技术提供的一种靶材焊接结构包括盖板、背板和隔离层；所述背板包括上端开口的凹槽，所述凹槽用于放置靶坯；所述隔离层的直径介于凹槽和背板的直径之间；所述隔离层置于凹槽上方，覆盖所述靶坯和背...
该专利属于先导薄膜材料（安徽）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先导薄膜材料（安徽）有限公司授权不得商用。

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