下载表面发射激光器、光发射组件及光模块的技术资料

文档序号:45844304

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本申请实施例涉及一种表面发射激光器、光发射组件及光模块,该表面发射激光器包括:衬底;设于所述衬底上的底部反射镜结构、活性层和顶部反射镜结构;其中,所述顶部反射镜结构中形成有若干氧化限制层,部分所述氧化限制层的厚度与其余部分所述氧化限制层的厚...
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