下载一种长寿命晶盘清洗机的技术资料

文档序号:45843417

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本发明公开了一种长寿命晶盘清洗机,包括机架及将机架分为上腔体、下腔体的隔板;隔板上前、后两端设有横槽;上腔体内设有两横轨,两横轨上设有滑动架,滑动架上设有滑动架驱动装置;各横槽活动密封连接有立柱;下腔体内各立柱靠近另一立柱侧垂直向设有滑槽,...
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