下载一种测量设备的波长校准方法的技术资料

文档序号:45840579

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本发明提供一种测量设备的波长校准方法,包括:获取标准样件的全波段光强信息,对全波段光强信息进行傅里叶变换,得到实测傅里叶系数;将实测傅里叶系数和理论傅里叶系数进行迭代拟合得到测量设备在每个波长下的系统参数、入射角、标准样件厚度和波长偏差;获...
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