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本发明涉及晶圆检测技术领域，具体提供一种晶圆表面污染缺陷检出方法及装置，对目标晶圆进行暗场拍摄，获取该晶圆的表面暗场散射图像，遍历暗场图像中的每一个像素，通过设定邻域和SNR估算计算形成SNR估计图，通过双阈值原理对SNR估计图进行全局阈值...
该专利属于深圳中科飞测科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳中科飞测科技股份有限公司授权不得商用。

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