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本发明公开了高密封性半导体密封圈及其制备方法及其硫化机，属于半导体材料技术领域，包括以下重量份组分的原料：全氟醚橡胶100‑120份、二氧化硅15‑20份、聚四氟乙烯2‑6份、气相炭黑5‑8份、交联剂0.5‑2份、助交联剂0.5‑4份。本发...该专利属于苏州弗莱依格密封科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州弗莱依格密封科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了高密封性半导体密封圈及其制备方法及其硫化机，属于半导体材料技术领域，包括以下重量份组分的原料：全氟醚橡胶100‑120份、二氧化硅15‑20份、聚四氟乙烯2‑6份、气相炭黑5‑8份、交联剂0.5‑2份、助交联剂0.5‑4份。本发...