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本发明属于薄膜加工技术领域，提供一种多组元金属薄膜的高通量制备方法及其多角度镀膜装置，其步骤包括：S1、薄膜筛选与制备；S2、薄膜真空蒸镀；S3、薄膜成分性能测试；S4、薄膜成分规律分析，本发明的多角度镀膜装置包括多角度薄膜架、载片槽和螺旋...
该专利属于燕山大学所有，仅供学习研究参考，未经过燕山大学授权不得商用。

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