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用于沟槽栅极金属氧化物半导体场效应晶体管的自对准沟槽底部保护区域制造技术
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下载用于沟槽栅极金属氧化物半导体场效应晶体管的自对准沟槽底部保护区域的技术资料
文档序号:45839015
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本文涉及用于沟槽栅极金属氧化物半导体场效应晶体管的自对准沟槽底部保护区域。提供了一种沟槽栅极MOSFET以及在沟槽栅极MOSFET中的沟槽栅极的底部表面处形成自对准沟槽底部保护区域的方法。方法包括在具有第二导电类型的半导体本体区域内形成具有...
该专利属于意法半导体国际公司所有,仅供学习研究参考,未经过意法半导体国际公司授权不得商用。
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