下载一种适用于阴极弧靶的旋转磁场装置及多弧离子镀装置的技术资料

文档序号:45837358

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本公开的实施例提供一种适用于阴极弧靶的旋转磁场装置及多弧离子镀装置,装置包括:底壳,所述底壳的底壁具有朝向所述底壳内凸设的套管,所述套管具有用于容置弧靶的套孔;转架,所述转架与所述套孔同心布置并套设于所述套管外周,其中,所述转架与所述底壳转...
该专利属于苏州工业职业技术学院所有,仅供学习研究参考,未经过苏州工业职业技术学院授权不得商用。

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