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本发明涉及陶瓷烧结体和等离子体产生用电极。陶瓷烧结体包含：第1特定元素，其由选自钛(Ti)、钒(V)、锆(Zr)、铌(Nb)、钼(Mo)、铪(Hf)、钽(Ta)和钨(W)中的5种或6种元素组成；第2特定元素，其由选自钇(Y)和铝(Al)中的...
该专利属于日本特殊陶业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本特殊陶业株式会社授权不得商用。

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