陶瓷烧结体和等离子体产生用电极制造技术

本发明专利技术涉及陶瓷烧结体和等离子体产生用电极。陶瓷烧结体包含：第1特定元素，其由选自钛(Ti)、钒(V)、锆(Zr)、铌(Nb)、钼(Mo)、铪(Hf)、钽(Ta)和钨(W)中的5种或6种元素组成；第2特定元素，其由选自钇(Y)和铝(Al)中的1种元素组成；以及碳元素(C)，第1特定元素、第2特定元素和碳元素的总和为98at％以上，陶瓷烧结体具备彼此组成不同的多种组织，多种组织中的一者具有包含第1特定元素中的至少3种以上元素的固溶体。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及陶瓷烧结体和等离子体产生用电极。

技术介绍

1、以往，已知有用于等离子体产生用电极的陶瓷烧结体(例如专利文献1)。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特许第6929755号公报

技术实现思路

1、专利技术要解决的问题

2、但是，即便是利用专利文献1这样的现有技术，在提高陶瓷烧结体中对热应力的耐久性的技术方面也尚有改善的余地。

3、本专利技术的目的在于，提供一种在陶瓷烧结体中提高对热应力的耐久性的技术。

4、用于解决问题的方案

5、本专利技术是为了解决上述课题的至少一部分而作出的，能够以以下方式来实现。

6、(1)根据本专利技术的一个方式，提供一种陶瓷烧结体。该陶瓷烧结体包含：第1特定元素，其由选自钛(ti)、钒(v)、锆(zr)、铌(nb)、钼(mo)、铪(hf)、钽(ta)和钨(w)中的5种或6种元素组成；第2特定元素，其由选自钇(y)和铝(al)中的1种元素组成；以及碳元素(c)本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种陶瓷烧结体，其特征在于，其包含：

2.根据权利要求1所述的陶瓷烧结体，其特征在于，

3.根据权利要求1或2所述的陶瓷烧结体，其特征在于，

4.根据权利要求1或2所述的陶瓷烧结体，其特征在于，

5.根据权利要求1或2所述的陶瓷烧结体，其特征在于，

6.根据权利要求1或2所述的陶瓷烧结体，其特征在于，

7.一种等离子体产生用电极，其具备权利要求1～6中任一项所述的陶瓷烧结体。

【技术特征摘要】

1.一种陶瓷烧结体，其特征在于，其包含：

2.根据权利要求1所述的陶瓷烧结体，其特征在于，

3.根据权利要求1或2所述的陶瓷烧结体，其特征在于，

4.根据权利要求1或2所述的陶瓷烧结体，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤经之，坂慎二，吉本修，田中智雄，
申请(专利权)人：日本特殊陶业株式会社，
类型：发明
国别省市：