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本技术提供了真空样品光学检测装置,属于光学检测技术领域。本技术包括真空样品室、顶盖、枪盖组件、高精度比例阀和真空抽气管,打开活动压盖,将检测材料放置在真空样品室内,启动真空泵,真空泵通过抽气管将真空腔进行抽真空,抽真空后真空腔内形成负压状态...该专利属于北京恒元华建科技发展有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京恒元华建科技发展有限公司授权不得商用。
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