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本申请提供了一种匀胶单元，包括匀胶单元主体，设置有滑轨；晶圆承载模块，位于匀胶单元主体上，且与滑轨相对设置，晶圆承载模块用于放置晶圆，且晶圆承载模块可绕晶圆承载模块的中心轴旋转；喷涂臂，一端位于滑轨中，另一端连接喷头；喷头上设置有至少一个喷...
该专利属于浙江创芯集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江创芯集成电路有限公司授权不得商用。

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