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碳化硅晶锭浓度斑图像定位方法、系统、介质和设备技术方案
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文档序号:45833040
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本发明公开了一种碳化硅晶锭浓度斑图像定位方法、系统、介质和设备,方法包括如下步骤:S1、采用线扫图象采集装置采集定位后的晶锭表面的图像,对采集的图像进行增强处理和滤波预处理得出可用于计算的计算图像;S2、得到训练后的模型;S3、使用训练后的...
该专利属于江苏通用半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏通用半导体有限公司授权不得商用。
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