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本技术涉及离子源技术领域，具体涉及一种离子源外壳及离子源。离子源外壳包括壳体、隔板、进水管和出水管，所述壳体上沿其周向形成有一容纳腔体；隔板设于所述壳体上并位于所述容纳腔体内；进水管和出水管均设于所述壳体上并与所述容纳腔体连通，所述进水管和...
该专利属于昂成精密仪器（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昂成精密仪器（深圳）有限公司授权不得商用。

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