下载存储晶圆结构以及三维集成装置的形成方法的技术资料

文档序号:45820131

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本发明涉及一种存储晶圆结构以及一种三维集成装置的形成方法。所述存储晶圆结构的切割区形成有测试芯片,测试芯片包括核心存储模块、输入输出模块、控制模块以及数据通道模块,利用测试芯片,能够在存储晶圆结构与逻辑电路晶圆键合之前间接检测芯片区的存储单...
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