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本技术涉及一种单晶炉用下测温坩埚升降装置。本技术要解决的技术问题是提供一种降温快的单晶炉用下测温坩埚升降装置。本技术采用的技术方案:坩埚升降组件、坩埚主轴托盘组件、坩埚主轴装置、下测温装置，所述坩埚主轴装置包括主轴组件和坩埚磁流体组件，所述...
该专利属于浙江晶泰半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江晶泰半导体有限公司授权不得商用。

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