专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
TOTO株式会社
>
静电吸盘制造技术
>技术资料下载
下载静电吸盘的技术资料
文档序号:45801477
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种静电吸盘,在极低温的环境下,能够抑制发生陶瓷电介体基板从基座板的剥离及陶瓷电介体基板的裂开。一种静电吸盘,具备:陶瓷电介体基板;金属制的基座板,支撑所述陶瓷电介体基板;及接合层,设置在所述陶瓷电介体基板与所述基座板之间且含有树...
该专利属于TOTO株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过TOTO株式会社授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。