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下载静电吸盘的技术资料

文档序号:45801477

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本发明提供一种静电吸盘,在极低温的环境下,能够抑制发生陶瓷电介体基板从基座板的剥离及陶瓷电介体基板的裂开。一种静电吸盘,具备:陶瓷电介体基板;金属制的基座板,支撑所述陶瓷电介体基板;及接合层,设置在所述陶瓷电介体基板与所述基座板之间且含有树...
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