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本发明涉及晶圆加工技术领域，尤其涉及采用狭缝供胶匀胶集成结构的晶圆片匀胶处理方法，包括以下步骤：预处理、自主定心固定、狭缝供胶和余胶收集与二次匀胶，本发明中，先通过定心固定组件对晶圆片实现多级式定心固定处理，确保晶圆片中心与旋转点的重合，后...
该专利属于青岛天仁微纳科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛天仁微纳科技有限责任公司授权不得商用。

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