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一种湿法装置及干燥方法，装置包括：工艺腔体，用于容纳待干燥的晶圆；风机过滤单元，设置于工艺腔体的上方，适于向工艺腔体内提供过滤后空气；吹送单元，设置于风机过滤单元与晶圆之间，且吹送单元适于向晶圆表面吹送置换蒸汽以去除晶圆表面的水分；干燥单元...
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