温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术属于硅片输送领域，具体提供了一种无痕输送装置，包括：输送架、驱动组件以及至少一个输送组件；所述输送组件转动设置在所述输送架上；所述驱动组件适于驱动所述输送组件对硅片进行输送；所述输送组件包括至少两根输送带；每根所述输送带上设置有多个无...
该专利属于常州比太科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州比太科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。