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本发明公开了一种对碱性抛光液化学机械抛光铜后产生的铜绿进行清洗的工艺方法，并涉及一种微型可调混液装置。利用所述工艺方法及微型可调混液装置对碱性抛光液化学机械抛光铜后产生的铜绿进行清洗，可达到利用碱性抛光液完成铜抛光后由酸性清洗剂(柠檬酸)进...
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