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本发明提供了一种铝钪锗靶材及其制备方法,属于金属及合金靶材加工制备技术领域,本方案采用在铝钪合金中掺杂锗元素的方式,利用悬浮炉预合金化,降低金属熔点,避免钪熔点过高,然后采用中频炉进行铝钪锗靶坯无污染、均匀化铸造成型,从而避免了在中频炉直接...该专利属于湖南高创稀土新材料有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖南高创稀土新材料有限责任公司授权不得商用。
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本发明提供了一种铝钪锗靶材及其制备方法,属于金属及合金靶材加工制备技术领域,本方案采用在铝钪合金中掺杂锗元素的方式,利用悬浮炉预合金化,降低金属熔点,避免钪熔点过高,然后采用中频炉进行铝钪锗靶坯无污染、均匀化铸造成型,从而避免了在中频炉直接...