下载一种高精密双面研磨抛光机的技术资料

文档序号:45714368

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本发明涉及抛光机技术领域,具体公开了一种高精密双面研磨抛光机,包括抛光台及其上设置的抛光垫;还包括:收集腔,安装于所述抛光台边侧,收集腔内部与抛光台台面边缘的凹槽贯通,并且收集腔内部设有限制抛光液流通及转向的阻隔器,并且阻隔器上远离收集腔和...
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