下载新型纳米压印设备及方法的技术资料

文档序号:45712929

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本发明公开一种新型纳米压印设备及方法,包括:流体承载体、软模板、升降驱动装置、基板承载座以及UV固化灯,流体承载体内置有用于承载液体的密闭空间,且密闭空间的压印部能够随着密闭空间内液体的重力发生形变;软模板与流体承载体固定连接,且软模板的板...
该专利属于苏州光舵微纳科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州光舵微纳科技股份有限公司授权不得商用。

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