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本发明涉及球形硅微粉生产技术领域，具体地涉及一种液相法制备球形硅微粉的高温后处理设备及工艺，包括引导雾化结构和振动处理结构，振动处理结构上连通设有引导雾化结构，振动处理结构的中心安装有分离引导结构，且分离引导结构与引导雾化结构也连通设置引导...
该专利属于江苏联瑞新材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏联瑞新材料股份有限公司授权不得商用。

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