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本申请涉及氧化钇绝缘涂层制备技术领域，且公开了一种应用在PECVD腔体内的碳纤维载板的氧化钇绝缘涂层的制备方法，本方案以下所述的步骤：步骤一：将碳纤维载板进行除污作业；步骤二：将碳纤维载板进行干燥作业；步骤三：将碳纤维载板进行喷涂作业；步骤...
该专利属于光晋科技（合肥）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光晋科技（合肥）有限公司授权不得商用。

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