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公开了一种用于处理衬底的设备，并且更具体地公开了一种能够捕获在衬底处理期间产生的烟尘而不在腔室中形成涡流的衬底处理设备。所述设备包括：外杯，其具有带有开放的顶部部分的处理空间；支撑单元，其用于在处理空间中支撑和旋转衬底；引导杯，其设置在处理...
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