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公开了一种处理衬底的方法，所述方法包括：通过向装载到处理容器的处理空间中的衬底供应处理液来处理衬底的衬底处理操作；以及在从所述处理空间中卸载所述衬底的状态下清洁所述处理容器的内部的容器清洁操作，其中所述容器清洁操作包括：定期清洁所述处理容器...
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